| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кушнер, Л. К. | - |
| dc.contributor.author | Степанова, Л. И. | - |
| dc.contributor.author | Кузьмар, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Хмыль, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | - |
| dc.contributor.author | Долбик, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-04T06:10:33Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-04T06:10:33Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Электрохимическое заполнение TSv-отверстий на реверсированном токе / Л. К. Кушнер и др. // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC– 2018», 19–23 ноября 2018 г. М. : Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. - Том 18, № 1. – С. 179–182. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34364 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассмотрены вопросы формирования TSV-межсоединений методами анодного растворения, химического и электрохимического осаждения из растворов, являющимися весьма перспективными вследствие простоты, низкой стоимости оборудования для их реализации, селективности осаждения, возможности управления составом и свойствами осадков. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Московский технологический университет | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | TSV-межсоединения | ru_RU |
| dc.subject | макропористый кремний | ru_RU |
| dc.subject | химическое осаждение металлов | ru_RU |
| dc.title | Электрохимическое заполнение TSv-отверстий на реверсированном токе | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
