| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Аксючиц, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Леонович, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-12T08:06:34Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-12T08:06:34Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Аксючиц, А. В. Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоев / А. В. Аксючиц, Н. В. Леонович // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 137. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34429 | - |
| dc.description.abstract | Тонкопленочные технологии находят широкое применение в микро- и наноэлектронике для изготовления
изделий магнито-, крио-, оптоэлектроники и для получения широкого круга оптических покрытий различного
назначения. Следует подчеркнуть, что поведение электронов в тонких пленках качественно отличается от
поведения в массивах благодаря возникновению новых, так называемых квантовых размерных эффектов.
Эти явления используют, в частности, в тонкопленочных микросхемах, составляющих основу современной микроэлектроники. Для получения таких тонких плёнок можно использовать магнетронные распылительные системы. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронная распылительная система | ru_RU |
| dc.subject | наноразмерные проводящие слои | ru_RU |
| dc.title | Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоев | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
