| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бачило, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Никитюк, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-12T08:21:18Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-12T08:21:18Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Бачило, В. В. Исследование параметров плазменного факела, формируемого в коаксиальной разрядной системе при атмосферном давлении / В. В. Бачило, С. А. Никитюк // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 142. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34432 | - |
| dc.description.abstract | В настоящее время в области высоких технологий широко используется обработка с помощью плазмы и
потоками заряженных частиц. Такие технологии позволяют получать, как атомарно чистую поверхность, так и
формировать пленочные микро- и наноструктурированные функциональные слои и покрытия с уникальным
комплексом физических характеристик для нужд машиностроения, оптики, микроэлектроники и ряда других
отраслей науки и техники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазменный факел | ru_RU |
| dc.subject | коаксиальная разрядная система | ru_RU |
| dc.title | Исследование параметров плазменного факела, формируемого в коаксиальной разрядной системе при атмосферном давлении | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
