| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Федосенко, В. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-12T09:03:33Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-12T09:03:33Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Федосенко, В. С. Пьезосенсор измерения толщины плёнок в процессе нанесения / В. С. Федосенко // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 173 - 174. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34435 | - |
| dc.description.abstract | Пьезоэлектрическим методом, с использованием кварцевого измерителя ,контролируется и определяется толщина плёнок в процессе их нанесения.
Для получение высококачественных пленок с заранее заданными и воспроизводимыми параметрами
очень важен строгий контроль при их нанесении. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | пьезоэлектрический метод | ru_RU |
| dc.subject | кварцевый измеритель толщины | ru_RU |
| dc.title | Пьезосенсор измерения толщины плёнок в процессе нанесения | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
