| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Родионов, Ю. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-03-06T07:20:40Z | - |
| dc.date.available | 2019-03-06T07:20:40Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Родионов, Ю. А. Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства : учеб. пособие / Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2019. – 300 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-432-1 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34591 | - |
| dc.description.abstract | Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике.
Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые
преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и
наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе
гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового
излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения,
детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных
технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении
указанных датчиков. Все рассмотренные датчики описываются по единому принципу:
детальное рассмотрение физического эффекта, лежащего в основе работы; выбор и
практическая реализация конструктивно-технологических решений. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | микросенсорика | ru_RU |
| dc.subject | твердотельные датчики | ru_RU |
| dc.title | Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства : учеб. пособие | ru_RU |
| dc.type | Учебные материалы | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
