| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Саратокина, В. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-03-13T13:53:18Z | - |
| dc.date.available | 2019-03-13T13:53:18Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Саратокина, В. И. Формирование диффузионных барьерных слоев при локальном осаждении меди : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / В. И. Саратокина ; науч. рук. А. Г. Черных. - Минск : БГУИР, 2018. – 6 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34678 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | медная металлизация | ru_RU |
| dc.subject | диффузионно-барьерные слои | ru_RU |
| dc.title | Формирование диффузионных барьерных слоев при локальном осаждении меди | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
