| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Русецкий, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Ануфриев, Л. П. | - |
| dc.contributor.author | Карпович, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Жарский, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Плебанович, В. И. | - |
| dc.contributor.author | Адамович, А. Л. | - |
| dc.contributor.author | Грозберг, Ю. А. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Дайняк, И. В. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-03-26T13:22:29Z | - |
| dc.date.available | 2019-03-26T13:22:29Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники: монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, А. М. Русецкого. – Минск: Бестпринт, 2011. – 210 с.: ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для электрофизических методов обработки материалов изделий микро- и наноэлектроники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Бестпринт | ru_RU |
| dc.subject | монография | ru_RU |
| dc.subject | публикация ученых | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | электрофизические процессы | ru_RU |
| dc.subject | наноэлектроника | ru_RU |
| dc.title | Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
