Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДостанко, А. П.-
dc.contributor.authorРусецкий, А. М.-
dc.contributor.authorБордусов, С. В.-
dc.contributor.authorЛанин, В. Л.-
dc.contributor.authorАнуфриев, Л. П.-
dc.contributor.authorКарпович, С. В.-
dc.contributor.authorЖарский, В. В.-
dc.contributor.authorПлебанович, В. И.-
dc.contributor.authorАдамович, А. Л.-
dc.contributor.authorГрозберг, Ю. А.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorСоловьев, Я. А.-
dc.contributor.authorДайняк, И. В.-
dc.contributor.authorКовальчук, Н. С.-
dc.contributor.authorПетухов, И. Б.-
dc.contributor.authorТелеш, Е. В.-
dc.contributor.authorМадвейко, С. И.-
dc.date.accessioned2019-03-26T13:22:29Z-
dc.date.available2019-03-26T13:22:29Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationЭлектрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники: монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, А. М. Русецкого. – Минск: Бестпринт, 2011. – 210 с.: ил.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871-
dc.description.abstractРассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для электрофизических методов обработки материалов изделий микро- и наноэлектроники.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБестпринт, Республика Беларусьru_RU
dc.subjectмонографияru_RU
dc.subjectпубликация ученыхru_RU
dc.subjectмикроэлектроникаru_RU
dc.subjectэлектрофизические процессыru_RU
dc.subjectнаноэлектроникаru_RU
dc.titleЭлектрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроникиru_RU
dc.typeКнигаru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Elektrofizicheskiye.pdf10.87 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.