| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кутько, А. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-03-04T09:56:42Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T12:16:40Z | - |
| dc.date.available | 2015-03-04T09:56:42Z | |
| dc.date.available | 2017-07-20T12:16:40Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Кутько А. Н. Магнетронная распылительная система для формирования наноструктур : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / А. Н. Кутько ; науч. рук. Д. А. Котов. - Мн.: БГУИР, 2015. - 6 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3501 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | наноструктуры | ru_RU |
| dc.subject | магнетронная распылительная система | ru_RU |
| dc.title | Магнетронная распылительная система для формирования наноструктур | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
