Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorПилипенко, В. А.-
dc.contributor.authorЯковлев, В. П.-
dc.date.accessioned2019-04-24T09:32:49Z-
dc.date.available2019-04-24T09:32:49Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationСолодуха, В. А. Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев // Доклады БГУИР. – 2019. – № 4 (122). – С. 92-97.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043-
dc.description.abstractПриведены конструктивные особенности автоматической установки быстрой термической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой спиралью КГТ 220-2000-3 в количестве 12 штук, которые обеспечивают нагрев пластины до 1200 о С со скоростью набора температуры 10–150 о С/с в течение 0,1−600 с. Предусмотрен процесс отжига как в вакууме, так и в различных газовых средах. Производительность установки с учетом загрузки пластины, создания вакуума в камере, напуска в камеру требуемого газа, термообработки по заданной программе и выгрузки составляет ≤ 60 пл./ч.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectкамера отжигаru_RU
dc.subjectдлительность импульсаru_RU
dc.subjectкремниевая пластинаru_RU
dc.subjectравномерность нагреваru_RU
dc.titleРоботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техникиru_RU
dc.title.alternativeRapid thermal treatment robotics unit for creation of electronic equipment devicesru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:№4 (122)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Robotizirovannaya.PDF895.83 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.