| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Первенецкий, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-10-24T09:01:51Z | - |
| dc.date.available | 2019-10-24T09:01:51Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей / В. Л. Ланин, А. П. Первенецкий, А. И. Лаппо // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы Междунар. науч.-техн. конф., Могилев, 25-26 апреля 2019 г. – Могилев : Белорус.-Рос. ун-т, 2019. – С. 130-131. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36854 | - |
| dc.description.abstract | Применение пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм более эффективно, поскольку сокращается почти в 2 раза время обработки, улучшается качество формируемого отверстия в кремниевой подложке, зона термического влияния уменьшается на 30–40%. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазер | ru_RU |
| dc.subject | размерная обработка | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.subject | 3D электронный модуль | ru_RU |
| dc.title | Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
