| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Коротыш, И. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-10-25T08:42:12Z | - |
| dc.date.available | 2019-10-25T08:42:12Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Коротыш, И. Г. FIB микроскопия, особенности и применение / Коротыш И. Г. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 155 – 156. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36872 | - |
| dc.description.abstract | FIB микроскопия (Focused ion beam, ФИП, Фокусированный ионный пучок) – это методика,
аналогичная растровой электронной микроскопии, но использующая сфокусированный пучок
ускоренных частиц с большей кинетической энергией – ионов вместо электронов, при этом
разрешающая способность прибора составляет около 5 нанометров. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фокусированный ионный пучок | ru_RU |
| dc.subject | FIB микроскопия | ru_RU |
| dc.title | FIB микроскопия, особенности и применение | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
