| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шелудченко, С. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-10-30T07:34:02Z | - |
| dc.date.available | 2019-10-30T07:34:02Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Шелудченко, С. И. Финишная обработка кремниевых пластин / Шелудченко С. И. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 246. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36975 | - |
| dc.description.abstract | Учитывая, что одним из приоритетных направлений развития экономики Республики Беларусь
на ближайшую перспективу является ресурсосбережение, проводимые научно-технические
разработки должны нацеливаться на экономию дорогостоящих химических реактивов,
электроэнергии при сохранении требуемых технологических характеристик химических
производств. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | химические производства | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.title | Финишная обработка кремниевых пластин | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
