| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-16T07:32:34Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-16T07:32:34Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / Емельянов В. В. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 293-294. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296 | - |
| dc.description.abstract | Описаны результаты эксперимента по увеличению селективности нитрида кремния к диоксиду кремния. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое травление | ru_RU |
| dc.subject | ВЧ генератор | ru_RU |
| dc.subject | селективность | ru_RU |
| dc.title | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
