| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Филимонов, Н. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-16T08:47:06Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-16T08:47:06Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Филимонов, Н. С. Плазменный синтез тонких пленок нитрида углерода / Филимонов Н. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 385-386. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37311 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки на спектральные и трибологические характеристики пленок нитрида углерода при синтезе прямым осаждением из ионных пучков метана и азота. Нагрев подложки приводил в снижению пропускания и коэффициента трения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазменный синтез | ru_RU |
| dc.subject | пленка | ru_RU |
| dc.title | Плазменный синтез тонких пленок нитрида углерода | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
