| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гиль, Г. С. | - |
| dc.contributor.author | Данилевич, Д. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-16T09:12:58Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-16T09:12:58Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Гиль, Г. С. Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF / Гиль Г. С., Данилевич Д. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 271. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37315 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния состава рабочего газа, напряжения на мишени и температуры подложки при нанесении пленок СF реактивным ионно-лучевым распылением графитовой мишени на скорость нанесения, электрофизические, спектральные и гидрофобные характеристики. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | пленка СF | ru_RU |
| dc.title | Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
