| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-20T12:31:46Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-20T12:31:46Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Тихон, О. И. Метод комбинированной фотохимически стимулированной обработки кремниевых пластин / О. И. Тихон // Физика конденсированного состояния : материалы XXVII Международной научно-практической конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Гродно, 18 апреля 2019 г. / Гродненский государственный университет имени Янки Купалы. – Гродно, 2019. – С. 178–180. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37420 | - |
| dc.description.abstract | Фотохимически усиленный процесс очистки, основанный на использовании ультрафиолета с озоном (УФ/O3) в условиях атмосферного давления, характеризуется отсутствием радиационных повреждений сформированных структур ИС по сравнению с другими широко применяемыми методами сухой очистки, а относительная простота реализации позволяет данному методу обработки находить применение для решения ряда технологических задач микроэлектроники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГрГУ им. Я. Купалы | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | межоперационная очистка | ru_RU |
| dc.subject | удаление фоторезиста | ru_RU |
| dc.subject | ультрафиолетовое излучение | ru_RU |
| dc.subject | озон | ru_RU |
| dc.title | Метод комбинированной фотохимически стимулированной обработки кремниевых пластин | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
