| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Яковенко, Ю. С. | - |
| dc.contributor.author | Мойсейчик, Е. С. | - |
| dc.contributor.author | Бейда, А. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-22T09:02:56Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-22T09:02:56Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Эволюция микроструктуры тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr при ионно-ассистированном осаждении на стекло / И. И. Ташлыкова-Бушкевич, Ю. С. Яковенко, Е. С. Мойсейчик, А. И. Бейда // Актуальные проблемы физики твердого тела : сб. докл. VIII Междунар. науч. конф., Минск, 24-28 сент. 2018 г. : в 3 т. Т. 3 / ред. колл.: Н. М. Олехнович [и др.]. – Минск : Ковчег, 2018. – C. 170-172. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37462 | - |
| dc.description.abstract | Для управления свойствами тонкопленочных металлических покрытий при их осаждении на подложку необходима диагностика микроструктуры поверхности системы покрытие/подложка. В данной работе на примере тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr, характеризующегося высокой термической стабильностью, обсуждаются экспериментальные результаты исследования изменения микроструктуры тонких металлических пленок, полученных методом ионно-ассистированного осаждения (ОПАСИ), в зависимости от условий формирования покрытий. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО "Ковчег" | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | микроструктура | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки алюминия | ru_RU |
| dc.subject | хром | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение | ru_RU |
| dc.title | Эволюция микроструктуры тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr при ионно-ассистированном осаждении на стекло | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
