| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Полищук, С. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-27T10:53:22Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-27T10:53:22Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Полищук, С. И. Микромеханические приводы движения / С. И. Полищук // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 58. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37532 | - |
| dc.description.abstract | Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства размером до 1 мм, в которых электронная часть неразрывно объединена с механической. МЭМС представляют собой мехатронику на микроуровне. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | мехатроника | ru_RU |
| dc.title | Микромеханические приводы движения | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
