| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Козлова, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-12-24T09:47:00Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-24T09:47:00Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Козлова, С. А. Системы концентрации СВЧ и НЧ энергии для возбуждения комбинированного разряда / Козлова С. А. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 323-325. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37913 | - |
| dc.description.abstract | Представлены конструкции систем подвода и концентрации СВЧ и НЧ энергии в двухчастотном плазменном разрядном устройстве, предназначенном для целей реактивно-ионного травления материалов при формировании элементов микроструктуры изделий электронной техники. Основу конструкции составляет СВЧ плазмотрон резонаторного типа с аппликатором в форме замкнутой в кольцо волнововодно-щелевой антенны. По оси СВЧ аппликатора располагается вакуумированная кварцевая камера, по торцам которой размещены плоские электроды низкочастотной газоразрядной системы емкостного типа. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ-плазма | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ-энергия | ru_RU |
| dc.subject | плазма | ru_RU |
| dc.subject | низкочастотный генератор | ru_RU |
| dc.title | Системы концентрации СВЧ и НЧ энергии для возбуждения комбинированного разряда | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
