| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Зырянова, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-01-09T11:45:02Z | - |
| dc.date.available | 2020-01-09T11:45:02Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Зырянова, А. С. Оптические характеристики тонких пленок HfO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением / Зырянова А. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 299. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38081 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния парциального давления кислорода при нанесении пленок HfO2 реактивным ионно-лучевым
распылением металлической мишени на скорость нанесения и оптические характеристики. Установлено, что скорость
нанесения пленок снижается с ростом содержания кислорода в рабочем газе. Пропускание и поглощение пленок
незначительно зависели от состава рабочего газа. Ширина запрещенной зоны составила 5,63 эВ. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | реактивное ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.title | Оптические характеристики тонких пленок HfO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
