| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Руденков, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Рогачев, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Купо, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Лучников, П. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-01-17T10:41:20Z | - |
| dc.date.available | 2020-01-17T10:41:20Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением / А. С. Руденков [и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. – 2019. – Т. 10, № 2. – С. 29 – 36. – DOI: https://doi.org/10.18127/j22250999-201902-04. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38243 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние режимов формирования и термообработки кремний-углеродных покрытий, осаждаемых путем ионнолучевого распыления карбида кремния, на их морфологию, химический и фазовый состав. Установлено, что увеличениемощности ионного-источника с 432 Вт до 738 Вт ведет к уменьшению фазового соотношения sp3/sp2 в 1,7 раза и увеличениюсоотношения Si-C/Si-O связей в 1,9 раза. Показано, что легирование углеродных покрытий карбидом кремния способствуетувеличению их термостойкости. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Издательство Радиотехника | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | углеродные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | атомно-силовая микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | шероховатость | ru_RU |
| dc.subject | фазовый состав | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.subject | КР-спектроскопия | ru_RU |
| dc.subject | РФЭС | ru_RU |
| dc.title | Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
