| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Аваков, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Емельянов, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Никитюк, Ю. В. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Плебанович, В. И. | - |
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Соколов, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Шершнев, Е. Б. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-02-12T07:20:49Z | - |
| dc.date.available | 2020-02-12T07:20:49Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2020. – 260 с. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-98508-2521-6 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38532 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики структур полупроводниковой микроэлектроники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Беларуская навука | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | инновации | ru_RU |
| dc.subject | технология | ru_RU |
| dc.subject | оборудование | ru_RU |
| dc.subject | субмикронные схемы | ru_RU |
| dc.subject | электроника | ru_RU |
| dc.title | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
