| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Фам Ван Тунг | - |
| dc.contributor.author | Чан Ньян Дат | - |
| dc.date.accessioned | 2020-03-05T14:06:49Z | - |
| dc.date.available | 2020-03-05T14:06:49Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках / В. Л. Ланин, Фам Ван Тунг, Чан Ньян Дат // Электронная обработка материалов. – 2020. – № 1(56). – С. 76–83. – DOI: 10.5281/zenodo.3640390. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38649 | - |
| dc.description.abstract | Предложено использование импульсного пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм и частотой повторения 15 Гц для формирования отверстий диаметром до 0,1 мм в неметаллических подложках: кремнии, керамике и др. Моделированием в MathCAD и COMSOL Multiphysics установлено, что значение половинного угла раствора светового конуса, которое зависит от фокусировки лазерного излучения, оказывает значительное влияние на глубину и диаметр отверстий при лазерной обработке. Исследовано влияние режимов лазерной обработки наносекундным и пикосекундными лазерами с длинами волн 1064 и 532 нм на конусообразность и время формирования отверстий в кремниевых подложках. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Академия наук Молдовы | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазерное излучение | ru_RU |
| dc.subject | неметаллические подложки | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | отверстия | ru_RU |
| dc.title | Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
