| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Микулич, Е. Л. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-06T09:34:53Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-06T09:34:53Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Микулич, Е. Л. Обеспечение безопасной работы оборудования при формировании алюминиевых межсоединений / Е. Л. Микулич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 214. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38892 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе была проведена сравнительная характеристика надёжности магнетронных распылительных систем, а так же выявлены определяющие факторы, которые оказывают влияние на безопасность технологического процесса. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | алюминевые межсоединения | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | безопасность технологического процесса | ru_RU |
| dc.title | Обеспечение безопасной работы оборудования при формировании алюминиевых межсоединений | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
