Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКотов, Д. А.-
dc.contributor.authorЧерных, А. Г.-
dc.date.accessioned2014-07-11T10:09:20Z-
dc.date.accessioned2017-07-17T07:47:50Z-
dc.date.available2014-07-11T10:09:20Z-
dc.date.available2017-07-17T07:47:50Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationКотов, Д. А. Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, А. Г. Черных. – Минск : БГУИР, 2010. – 48 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.isbn978-985-488-499-8.-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388-
dc.description.abstractСистематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания интегральных микросхем (ИМС), а также для тестового контроля микросхем. Изложены результаты по применению методов контроля и анализа на различных этапах разработки изделий электронной техники, показано их место в технологической цепочке создания ИМС.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectучебно-методические пособияru_RU
dc.subjectизготовление интегральных микросхемru_RU
dc.subjectинтегральные микросхемыru_RU
dc.subjectконтроль-
dc.titleМетоды контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособиеru_RU
dc.typeBookru_RU
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kotov_metodi.pdf9.05 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.