| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-11T10:09:20Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:50Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-11T10:09:20Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:50Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Котов, Д. А. Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, А. Г. Черных. – Минск : БГУИР, 2010. – 48 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-488-499-8 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388 | - |
| dc.description.abstract | Систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания интегральных микросхем (ИМС), а также для тестового контроля микросхем. Изложены результаты по применению методов контроля и анализа на различных этапах разработки изделий электронной техники, показано их место в технологической цепочке создания ИМС. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | изготовление интегральных микросхем | ru_RU |
| dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | контроль | - |
| dc.title | Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
