| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Артюх, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-15T08:21:16Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-15T08:21:16Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, А. И. Метод экспресс-анализа фазовых превращений в ультратонких силицидах никеля / А. И. Емельянов, А. В. Артюх // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 108-109. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38930 | - |
| dc.description.abstract | В современной микроэлектронике первостепенное значение имеют совокупность функциональных характеристик и размера изделия. Стремление миниатюризировать изделия послужило толчком к развитию наноэлектроники, что, в свою очередь, стимулировало поиск новых тонкопленочных материалов, обладающих необходимыми характеристиками, такими как электрическое сопротивление, температурная и морфологическая стабильность и др. Одним из таких материалов является моносилицид никеля NiSi, и изучению его свойств при толщине пленки менее 20 нм и посвящена данная работа. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | ультратонкие силициды никеля | ru_RU |
| dc.subject | измерение поверхностного сопротивления | ru_RU |
| dc.title | Метод экспресс-анализа фазовых превращений в ультратонких силицидах никеля | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
