| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гуревич, О. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-18T08:39:09Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-18T08:39:09Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Гуревич, О. В. Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий ионно-лучевым распылением мишеней из кремния и кварца / О. В. Гуревич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 103–105. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38945 | - |
| dc.description.abstract | Ионно-лучевым распылением мишеней из кварца и кремния были получены диэлектрические покрытия (Si-O-C). Исследованы электро-физические и оптические характеристики полученных покрытий и их зависимости от параметров процессов нанесения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевое распыление мишеней | ru_RU |
| dc.subject | диэлектрическое покрытие | ru_RU |
| dc.title | Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий ионно-лучевым распылением мишеней из кремния и кварца | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
