| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Щелкунов, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-19T08:29:37Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-19T08:29:37Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Щелкунов, А. В. Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии / А. В. Щелкунов // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 106–107. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38957 | - |
| dc.description.abstract | Применение силицида никеля в качестве материала для современной микроэлектронной техники стало возможным благодаря совокупности таких его свойств, как: низкое удельное сопротивление, сравнительно низкая температура образования и др. Важно изучить влияние температуры отжига на морфологию поверхности ультратонких силицидов никеля, чтобы в дальнейшем выработать механизмы увеличения термической стабильности пленки силицида никеля. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | морфология поверхности | ru_RU |
| dc.subject | силицид никеля | ru_RU |
| dc.subject | атомно-силовая микроскопия | ru_RU |
| dc.title | Изучение морфологии поверхности ультратонких силицидов никеля методом атомно-силовой микроскопии | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
