| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бездников, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Шекелевский, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-04T11:50:54Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-04T11:50:54Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Бездников, М. С. Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства / Бездников М. С. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 76-77. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39775 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе представлена методика моделирования магнитного поля при разработке и предварительной оценке
характеристик магнетронного распылительного устройства. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru_RU |
| dc.subject | магнитные ловушки | ru_RU |
| dc.title | Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
