Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39780
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБруцкая, А. О.-
dc.contributor.authorАксючиц, А. В.-
dc.date.accessioned2020-09-07T05:52:05Z-
dc.date.available2020-09-07T05:52:05Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationБруцкая, А. О. Получение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разряда / Бруцкая А. О., Аксючиц А. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 96-97.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39780-
dc.description.abstractРассматривалось получение пленок диоксида кремния с помощью плазмы атмосферного разряда с применением тетраэтоксисилана (ТЭОС) и их исследование. Так же были проведены эксперименты по осаждению пленок оксида кремния при разном соотношении потоков аргона. Было выявлено, что при различном времени обработки и расстоянии плазменной струи от образцов, получалась неравномерность напыления плёнок, что не удивительно с коаксиальным методом. Размер толщин плёнок в большей мере зависит от расстояния между электродами разрядной системы, расстояние от электрода до окончания трубки и расстояния до мишени. Наибольшее влияние на толщины формируемых покрытий оказывает расстояние до мишени.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИР, РБru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectтетраэтоксисиланru_RU
dc.subjectатмосферные разрядыru_RU
dc.subjectплазменная обработкаru_RU
dc.titleПолучение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разрядаru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Brutskaya_Polucheniye.pdf358.4 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.