| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бруцкая, А. О. | - |
| dc.contributor.author | Аксючиц, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-07T05:52:05Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-07T05:52:05Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Бруцкая, А. О. Получение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разряда / Бруцкая А. О., Аксючиц А. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 96-97. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39780 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривалось получение пленок диоксида кремния с помощью плазмы атмосферного разряда с применением
тетраэтоксисилана (ТЭОС) и их исследование. Так же были проведены эксперименты по осаждению пленок оксида кремния
при разном соотношении потоков аргона. Было выявлено, что при различном времени обработки и расстоянии плазменной
струи от образцов, получалась неравномерность напыления плёнок, что не удивительно с коаксиальным методом. Размер
толщин плёнок в большей мере зависит от расстояния между электродами разрядной системы, расстояние от электрода до
окончания трубки и расстояния до мишени. Наибольшее влияние на толщины формируемых покрытий оказывает расстояние
до мишени. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | тетраэтоксисилан | ru_RU |
| dc.subject | атмосферные разряды | ru_RU |
| dc.subject | плазменная обработка | ru_RU |
| dc.title | Получение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разряда | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
