| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Николаенко, С. П. | - |
| dc.contributor.author | Леонович, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-11T06:57:35Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-11T06:57:35Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Николаенко, С. П. Свойства пленок нитрида кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы / Николаенко С. П., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 19. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39873 | - |
| dc.description.abstract | Описаны свойства, применение и способ получения пленок нитрида кремния методом плазмохимического осаждения из газовой фазы. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое осаждение | ru_RU |
| dc.subject | газовые среды | ru_RU |
| dc.subject | нитрид кремния | ru_RU |
| dc.title | Свойства пленок нитрида кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
