| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Данилевич, Д. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-22T08:09:35Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-22T08:09:35Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Данилевич, Д. С. Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков / Д. С. Данилевич // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 314. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40744 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние парциального давления хладона и температуры подложки на оптические характеристики пленок SiOF, синтезированных прямым осаждением из ионных пучков. Установлено, что повышение давления хладона способствует небольшому снижению пропускания и увеличению поглощения покрытий. Нагрев подложки приводил к улучшению оптических характеристик пленок SiOF. Нагрев подложки приводил к росту ИК поглощения на связях С–О и О=С=О. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | пленки SiOF | ru_RU |
| dc.subject | ионные пучки | ru_RU |
| dc.title | Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
