| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Филимонов, Н. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-22T11:15:59Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-22T11:15:59Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Филимонов, Н. С. Исследование режимов нанесения на микротвердость пленок нитрида углерода / Н. С. Филимонов // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 406. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40755 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние парциального давления азота и температуры подложки на микротвердость пленок нитрида углерода, синтезированных прямым осаждением из ионных пучков. Установлено, что зависимость микротвердости от давления имела экстремумный характер. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | парциональное давление | ru_RU |
| dc.subject | микротвердость пленок | ru_RU |
| dc.subject | нитрид углерода | ru_RU |
| dc.title | Исследование режимов нанесения на микротвердость пленок нитрида углерода | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
