| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лам, Н. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-23T08:25:28Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-23T08:25:28Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Лам, Н. Н. Исследование микротвердости тонких пленок нитрида титана - алюминия / Н. Н. Лам // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 346 - 347. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40797 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования микротвердости пленок нитрида титана-алюминия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti-Al мозаичных мишеней с концентрацией алюминия 20%. Получена зависимость микротвердости от концентрации азота в Ar/N2 смеси газов процессе нанесения пленок. Для концентрации азота в пленке имеется оптимум, при котором достигается максимальная твердость. Максимальная твердость HK 23.5 ГПа получена для пленок состава Ti5AlN1.33, которые имели соотношение Ti/Al 5:1 и недостаток азота. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микротвердость | ru_RU |
| dc.subject | пленки нитрида титана - алюминия | ru_RU |
| dc.title | Исследование микротвердости тонких пленок нитрида титана - алюминия | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
