| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Романович, Я. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-28T11:45:15Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-28T11:45:15Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Романович, Я. Г. Исследование триботехнических параметров пленок СNx / Я. Г. Романович // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18–20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 368. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40833 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние парциального давления азота и температуры подложки на коэффициент трения пленок нитрида углерода, синтезированных прямым осаждением из ионных пучков. Установлено, что увеличение доли азота увеличивает коэффициент трения. Нагрев подложки способствовал значительному улучшению триботехнических характеристик покрытий. При температуре 473 К был получен коэффициент трения менее 0,1. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | триботехническая характеристика покрытия | ru_RU |
| dc.subject | азот | ru_RU |
| dc.title | Исследование триботехнических параметров пленок СNx | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
