Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40867
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorНгуен, Т. Д.-
dc.contributor.authorЗанько, А. И.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorМельников, С. Н.-
dc.contributor.authorКолос, В. В.-
dc.date.accessioned2020-11-03T06:50:12Z-
dc.date.available2020-11-03T06:50:12Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationЭлектрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления / Нгуен Т. Д. [и др.] // Доклады БГУИР. – 2020. – № 18 (6). – С. 94–102. – DOI : http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-6-94-102.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40867-
dc.description.abstractЦелью работы являлось исследование влияния состава газовой среды в процессе распыления на электрофизические характеристики пленок оксида ванадия, нанесенных методом импульсного реактивного магнетронного распыления ванадиевоaй мишени в среде Ar/O2 рабочих газов. Получены зависимости напряжения разряда магнетрона, скорости нанесения, удельного сопротивления, температурного коэффициента сопротивления (ТКС), ширины оптической запрещенной зоны пленок оксида ванадия от концентрации кислорода в смеси газов. Установлено, что при реактивном магнетроном распылении формируются аморфные пленки оксида ванадия. Показано, что электрофизические свойства нанесенных пленок оксида ванадия имеют сильную зависимость от концентрации кислорода в Ar/O2 смеси газов, что связано с образованием в пленке смеси различных промежуточных оксидов ванадия. Установлено, что с точки зрения использования пленок оксида ванадия в качестве термочувствительных слоев пленки необходимо наносить при концентрациях кислорода в смеси газов от 17 до 25 %. При данных концентрациях кислорода без нагрева подложек получены пленки оксида ванадия с удельным сопротивлением (0,6–4,0)·10-2 Ом·м, ТКС 2,2–2,3 %/°C и шириной запрещенной зоны для прямых переходов 3,7–3,78 эВ. Полученные характеристики позволяют использовать данные пленки в качестве термочувствительных слоев микроболометров.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectоксид ванадияru_RU
dc.subjectреактивное магнетронное распылениеru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectмикроболометрru_RU
dc.subjectvanadium oxideru_RU
dc.subjectreactive magnetron sputteringru_RU
dc.subjectthin filmsru_RU
dc.subjectmicrobolometerru_RU
dc.titleЭлектрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыленияru_RU
dc.title.alternativeElectrophysical properties of vanadium oxide films deposited by reactive magnetron sputteringru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
local.description.annotationThe aim of this work was to study the effect of the gas composition during sputtering on the electrophysical properties of vanadium oxide films deposited by pulsed reactive magnetron sputtering of a vanadium target in an Ar/O2 medium of working gases. The dependences of the magnetron discharge voltage, deposition rate, resistivity, temperature coefficient of resistance (TCR), and the band gap of vanadium oxide films on the oxygen concentration in the gas mixture are obtained. It was found that amorphous films of vanadium oxide are formed during reactive magnetron sputtering. It is shown that the properties of the deposited vanadium oxide films have a strong dependence on the oxygen concentration in the Ar/O2 gas mixture, which is associated with the formation of a mixture of various intermediate vanadium oxides in the film. It was found that from the point of view of using vanadium oxide films as thermosensitive layers of microbolometers, the films must be deposited at oxygen concentrations in the gas mixture of 17 to 25 %. At the given oxygen concentrations without heating the substrates, vanadium oxide films with a resistivity (0.6–4.0)·10-2 Ohm·m, TCR 2.2–2.3%/°C and a band gap for direct transitions of 3.7–3.78 eV. The obtained characteristics make it possible to use these films as thermosensitive layers of microbolometers.-
Appears in Collections:№ 18(6)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Nguyen_Elektrofizicheskiye.pdf777.76 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.