| Title: | Исследование влияния электрических характеристик источника питания СВЧ магнетрона на стабильность оптического излучения плазмы СВЧ разряда |
| Authors: | Тодин, П. А. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ магнетрон;СВЧ разряд |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Тодин, П. А. Исследование влияния электрических характеристик источника питания СВЧ магнетрона на стабильность оптического излучения плазмы СВЧ разряда / П. А. Тодин // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18–20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 396–397. |
| Abstract: | В процессе работы технологического оборудования возникает необходимость контролировать состояния системы путем проведения корреляционного анализа ее параметров. Задача по прогнозированию и увеличению воспроизводимости параметров технологических процессов непосредственно связана со стабильностью работы технологической системы в целом. На примере изучения стабильности оптического излучения плазмы СВЧ разряда предложено проводить параметрический анализ технологической системы с использованием технологий визуализации аналитических данных в виде тепловых карт. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40880 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
