| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Зырянова, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-03T12:22:49Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-03T12:22:49Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Зырянова, А. С. Влияние температуры подложки на оптические характеристики тонких пленок HfO2 / А. С. Зырянова // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18– 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 323–325. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40897 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние температуры подложки на оптические характеристики пленок из диоксида гафния, синтезированных реактивным ионно-лучевым распылением металлической мишени. Установлено, что повышение температуры подложки до 573 К привело к ухудшению оптических характеристик. Произошло снижение пропускания и рост поглощения в диапазоне 450–800нм. Это может быть связано с десорбцией кислорода из пленки, образованием неоднородных областей в структуре покрытия. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | температура подложки | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.title | Влияние температуры подложки на оптические характеристики тонких пленок HfO2 | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
