Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorНелаев, В. В.-
dc.contributor.authorСтемпицкий, В. Р.-
dc.date.accessioned2014-07-12T12:25:20Z-
dc.date.accessioned2017-07-17T07:47:47Z-
dc.date.available2014-07-12T12:25:20Z-
dc.date.available2017-07-17T07:47:47Z-
dc.date.issued2005-
dc.identifier.citationНелаев, В. В. Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2005. – 138 c. : ил.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/410-
dc.description.abstractВ пособии приведены общие сведения о модуле ATHENA программного комплекса фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. Описывается порядок работы в модуле ATHENA под управлением интерактивной оболочки DECKBUILD с многочисленными примерами, содержится подробное описание директив для выполнения задания на моделирование вместе с полным их списком.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectучебно-методические пособияru_RU
dc.subjectкомпьютерное моделированиеru_RU
dc.subjectмикроэлектроникаru_RU
dc.subjectоболочка DECKBUILDru_RU
dc.subjectинтегральные микросхемыru_RU
dc.subjectмодуль ATHENAru_RU
dc.titleРабота в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ. системы” всех форм обученияru_RU
dc.typeBookru_RU
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Nelaev_2005.pdf2,76 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.