| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Жигулин, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-19T06:58:20Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-19T06:58:20Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Петлицкий, А. Экспресс-контроль элементов интегральных схем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока / А. Петлицкий, Д. Жигулин, В. Ланин / Производство электроники. – 2020. – № 1. – С. 98–102. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41131 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрена методика выявления отказов элементов интегральных схем растровой электронной микроскопией в режиме наведенного тока EBIC. Данный метод является основой экспресс-контроля работоспособности ИС и отдельных интегральных элементов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Издательский Дом Электроника | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | растровая электронная микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | режим наведенного тока | ru_RU |
| dc.title | Экспресс-контроль элементов интегральных схем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
