| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-23T11:33:38Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-23T11:33:38Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Гранько, С. В. Применение распределений Пирсона для расчета пространственного распределения концентрации примеси введенной методом ионной имплантации / С. В. Гранько, А. А. Ковалевский // Компьютерные технологии и анализ данных : материалы II Междунар. научно-практической конференции, Минск, 23–24 апреля 2020 г. / Белорусский государственный университет. – Минск, 2020. – С. 53–56. – DOI: 10.18127/j22250980-201903-02. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41204 | - |
| dc.description.abstract | Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределение примеси. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | распределения Пирсона | ru_RU |
| dc.subject | распределение концентрации примеси | ru_RU |
| dc.title | Применение распределений Пирсона для расчета пространственного распределения концентрации примеси введенной методом ионной имплантации | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
