| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-25T10:47:39Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-25T10:47:39Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Гранько, C. В. Моделирование и расчет пространственного распределения концентрации ионно-имплантированной примеси / Гранько C. В., Короткевич А. В. // Информационные технологии и системы 2020 (ИТС 2020) = Information Teсhnologies and Systems 2020 (ITS 2020) : материалы международной научной конференции, Минск, 18 ноября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2020. – С. 124–125. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41267 | - |
| dc.description.abstract | Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределения примеси. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | ионно-имплантированные примеси | ru_RU |
| dc.subject | ионная имплантация | ru_RU |
| dc.title | Моделирование и расчет пространственного распределения концентрации ионно-имплантированной примеси | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ИТС 2020
|
