| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Кирия, Л. Т. | - |
| dc.contributor.author | Ковриго, В. М. | - |
| dc.contributor.author | Тымощик, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-12-16T09:33:29Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-16T09:33:29Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия / Черных А. Г. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 101. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774 | - |
| dc.description.abstract | Существующие процессы металлизации алюминием, в настоящее время, не в полной мере отвечают требованиям современных микросхем и микроэлектромеханических систем. В работе проведен сравнительный анализ структурных и электрофизических свойств металлизации на основе тонких пленок сплавов Al–Ho, Al–Si, Al–Ho–Si, Al–Si–Cu. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | металлизация | ru_RU |
| dc.title | Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2010
|
