| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ясюнас, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Тымощик, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-12-24T09:25:15Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-24T09:25:15Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС / Ясюнас А. А. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 115. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42148 | - |
| dc.description.abstract | Высокочастотные микроэлектромеханические системы (ВЧ МЭМС) предназначенные для модуляции, переключения, фильтрации или подстройки электрических сигналов в диапазоне от постоянного тока до тока микроволнового диапазона. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.subject | электрические сигналы | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое травление | ru_RU |
| dc.title | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2010
|
