| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-14T08:30:44Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:47Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-14T08:30:44Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:47Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : метод. пособие по дисциплине «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальности1-41 01 03 «Квант. информ. системы» днев. формы обучения / А. Г. Черных, Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2008. – 47 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-488-351-9 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/421 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 130 нм. Рассмотрены различные типы КМОП-структур: с двойным затвором, вертикальной структурой, FinFET. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | технология изготовления транзисторов | ru_RU |
| dc.subject | КМОП-транзисторы | ru_RU |
| dc.title | Технология изготовления КМОП-транзисторов : метод. пособие по дисциплине «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальности1-41 01 03 «Квант. информ. системы» днев. формы обучения | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
