| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шульгов, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-14T08:45:43Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:48Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-14T08:45:43Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:48Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Шульгов, В. В. Технология БГИС : лаборатор. практикум для студентов специальности «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» : в 4 ч. Ч. 3 : Технолог. процессы формирования топологии пленочных элементов / В. В. Шульгов. – Минск : БГУИР, 2010. – 30 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-488-566-7 (ч. 3) | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/423 | - |
| dc.description.abstract | Лабораторный практикум позволяет получить представление о технологических процессах формирования топологии пленочных элементов БГИС (формирование фоторезистивной маски, травление, электрохимическое осаждение); изучить отдельные операции технологического маршрута и контрольные операции после различных этапов изготовления БГИС; получить практические навыки в выборе и расчете технологических режимов отдельных операций. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | большие гибридные интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | топология интегральных схем | ru_RU |
| dc.subject | пленочные элементы БГИС | - |
| dc.title | Технология БГИС : лаборатор. практикум для студентов специальности «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» : в 4 ч. Ч. 3 : Технолог. процессы формирования топологии пленочных элементов | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
