| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Борисевич, В. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-13T06:18:55Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-13T06:18:55Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме / Ковалевский А. А. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 81–82. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42411 | - |
| dc.description.abstract | Исследован процесс внедрения водорода в микро- и нанодисперсные порошки кремния в зависимости от величины мощности ВЧ-разряда, парциального давления водорода в реакторе и дисперсности частиц микропорошка в условиях плазменного воздействия. Результаты исследований позволили установить механизм внедрения водорода в порошки кремния учитывая то, что величина подводимой ВЧ-мощности плазменного разряда определяет эффективность генерации активных частиц и что в свою очередь способствует увеличению их сорбции. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | высокочастотная плазма | ru_RU |
| dc.subject | микродисперсные порошки | ru_RU |
| dc.subject | нанодисперсные порошки | ru_RU |
| dc.subject | плазменная обработка | ru_RU |
| dc.title | Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2011
|
