| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Голосов, А. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-18T08:08:50Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-18T08:08:50Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Голосов, А. Д. Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 мм : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / А. Д. Голосов ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2020. – 8 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42552 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | сегнетоэлектрические слои | ru_RU |
| dc.title | Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 мм | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
