| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Леонович, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-18T08:54:56Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-18T08:54:56Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Леонович, Н. В. Реактор осаждения алмазоподобных углеродных покрытий в плазме высокой плотности : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Н. В. Леонович ; науч. рук. Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2020. – 8 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42560 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | углеродные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | алмазоподобные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | ионно-плазменные покрытия | ru_RU |
| dc.title | Реактор осаждения алмазоподобных углеродных покрытий в плазме высокой плотности | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
