| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гурбо, А. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-18T09:48:26Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-18T09:48:26Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Гурбо, А. Д. Кинетика формирования и структура пористого кремния на сильнолегированных монокристаллах кремния электронного типа проводимости : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / А. Д. Гурбо ; науч. рук. В. П. Бондаренко. – Минск : БГУИР, 2020. – 8 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42567 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | пористый кремний | ru_RU |
| dc.subject | сильнолегированные монокристаллы кремния | ru_RU |
| dc.title | Кинетика формирования и структура пористого кремния на сильнолегированных монокристаллах кремния электронного типа проводимости | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
